该厂为84英寸晶圆生产的线整套搭配的超超纯水装置，每日造成含硅污废水 150吨。污废水 中虽无巨资属，但硅水平高易结渣，且功率电阻率需以达到18MΩ·cm方可使用。以往补救鑫霖环保没有满足需要新颁行的《电子器材工业化水废弃物物排放物物标准单位》（GB39731-2020）非常排放物物规定值。 化工废水物质亮点 注意环境固体废弃物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒级0.1-1μm） 特色请求 ：TOC<10μg/L，硼水平<5μg/L 水源性能指标 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅单质形态特征非常复杂 办理加工生产工艺流程图 研发通过"梯级膜离心分离+电去亚铁离子"组合公式加工： 微滤预处里 ：1μm瓷砖膜拦住大粒状硅，通量保持80LMH 铁离子互相交换聚酯树脂 ：D201大孔树酯取舍性过滤硅酸氧分子 中级RO系统化 ：首先段出售率60%，第二点段适用高脱硼膜电子器件 EDI电去化合物 ：电压电流密度计算公式2A/m²，连续清理稳定度亚铁离子 紫外光除臭 ：254nm红外光谱线用量40mJ/cm² 技巧重点 激发专门用阻硅剂（有机酸胺类挽回物），减慢膜水污染时期3倍 EDI输出模块的创新流道构思，硅清掉率的提升至99.8% 在线视频硅探讨仪（在线测量範圍0.1-500μg/L）建立脱贫调控 加载举措 经第三通方的检测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降下来0.3μg/L 设计回报率从原40%上升至68% 膜换成的周期延迟至5年，年运作投资成本减少35%