半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备顶级测封服务设施涉重化工废水——MVR禁止重复零排楼盘
建设项目时代背景
半导体器件设备舒适测封楼盘,产值150立米米/天,是率先半导体器件设备测封匹配涉重废液零排楼盘。测封要素的镀镍、镀铜、引线的框架清洁工作会呈现含镍含铜废液,工业区让"无尾水外排",产水所有的回收于产线。
水环境的特点与问题
生活污水以含镍有利于(生物碳废气浓度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH变化大(2–12),仍有光刻胶农药残留的少量的生物碳物。首测厂会场紧,的标准加工设施设备拆迁赔偿小;零排意思着浓水不可建筑垃圾清运过多,一定要地方蒸发掉成果反馈控制。
净化处理工学艺路经
整体化走"分质获得 → 预操作除杂 → 催化沉定除镍 → 过虑 → UF+有级RO → MVR立即间歇蒸馏 → 冷凝器水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢空气钝化钠转化Ni(OH)₂析出,多加加硫钠的深度收集多余镍(加硫镍Ksp比氢空气钝化镍更小,也能镍压到0.1毫克/升一下);
沉淀物中出液经多物质吸附+保安人员吸附后进UF,再进1级RO,产水就直接回产线洗涤;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR强迫性要求重复多效空调冷凝器,强迫性要求重复能扛高含盐结渣,多效空调冷凝器原带线的清洗,很容易堵;
MVR冷疑水返回到循环蓄水池,多效蒸发残液委外填埋或最为危险废弃物处理,所有车间无固体外排。
首要设施特征说
MVR强制性反复不同之处平常降膜汽化,反复空气流速高、对流换热系数面后易结镍盐/碳酸盐垢,满足首测各种"容量好大但水的硬度杂"的画面;整体化撬装结构设计征占比传统的汽化塘+多效汽化规划小60%超过;特殊难闻气味侧配置生物体滤池,把调节器池和污水间的特殊难闻气味抽取后光降解成CO₂和水,避开首测厂邻近辦公区的特殊难闻气味投诉信。
治理特效与管理效益
喷水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《塑料电镀空气工业废气排卸标准的》表三;其他150万m³/天产水工业废水处理于公测产线家电清洗,方式等量优质水;危险废物(减压蒸馏残液+工业废水)量比传统艺术"积淀+排卸"玩法减约70%。对富士康侧,公测楼盘环保健康市场准入卡点遭打通;