武汉某半导体鑫霖环保芯片鑫霖环保芯片手工我们,晶圆生产工作中导致含硅、氟的独特污水,开发办理整体规模1200吨/日。污水组成成分复杂的,含納米级硅科粒及氢佛酸,以往办理技巧其特性很难达到。
污废水 含量及来源地
首要污染源物
:电解质溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
种类制作工艺
:晶圆刻蚀污废水处理 (45%)、CMP化工厂家拋光污废水处理 (40%)、专用设备冲干净水(15%)
处理流程步骤流程步骤
的创新所采用"电学凝固+持种膜离心分离"技術自驾线路:
钙盐奠定
:加药系统氯化钙清掉氟阴阳离子(转换成CaF2放置)
水解酸化池反应迟钝
:分手后复合水解酸化池剂进行电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗粒肥料
反渗设备
:脱盐率>98%,利用率75%
多效蒸发凝结
:浓水段实行氟化物零尾气排放
决定性功能
氟化物氨水浓度:<8mg/L(超过发展中国家七级标准的10mg/L)
硅含磷量:<5mg/L
水材料工业废水处理率:70%中用待冷却水塔补充水分
危险废弃物减轻药量:蒸发器杂质量较以往生产工艺极大减少60%