该晶圆加工制造商是在华南中北部,大部分生產8寸大半导体材料晶圆,日访问量废水处理排卸量约800吨。在生產过程中中在使用海量盐酸来晶圆蚀刻,产生废水处理中氟化物浓硫酸浓度超过200-300mg/L,远超欧洲国家排卸标准单位(10mg/L如下)。
污水成份及的来源
废水处理方法重点出自六个要素:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高质量浓度氟化物(HF)、氯化铵及极少量血本属
无机化学机器打磨(CMP)污废水
:含微米级硅粒子、充分络合剂
的设备洁净废污水
:含异丙醇、氯离子等巧妙物
加工处理加工注意事项
所采用"化学式悠长岁月中+混疑悠长岁月中+程度过滤水"三级视频治理系统的:
五级处理
:加药系统氯化钙和氢氧化的钙,型成氟化钙放置,氟化物清理率达85%
二次元整理
:加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),洗去溶液态水排放物
一级加工处理
:借助多媒介筛选器和抗逆性炭离心分离,留水氟化物密度可靠在8mg/L以上
重要的机器主要包括:pH自行设定体系、斜管沉积池、板框压滤(活性污泥脱水烘干)。
不可能成效
投资项目运转三年期监测网的数据显示信息:
氟化物人均渗透压:7.2mg/L(不高于祖国基准)
COD去掉率:92%
活性污泥含水量率:≤65%
年收废氟化钙副產品约150吨,变现影视减量化进行