投资项目大环境
某大型的半导体器件营造中小型工厂在长江三角型沿海地区,其主要的生产销售晶圆和电源芯片。在的生产销售操作过程中,晶圆切割工作和磨光周期导致很大粉磨液工业废水,日访问量马上排股票放量约50吨。考虑到工业废水里内含高氧化还原电位悬浮按钮物、材料亚铁离子及有机质插入剂,马上马上尾气排放标准会对学习环境造频发污染破坏,中小型工厂现需基础建设的专业办理服务设施。
废污水组分及因素
研磨机液废气最通常通常来出自晶圆生产制造中的电化学设备磨光(CMP)制作工序,最通常污染源物包含:
浮动科粒物
:二氧化物物硅、氧化物物铝等研磨设备粉末,粒级在0.1-1μm,有机废气浓度独角兽高达2000mg/L。
重金属化合物
:铜、铁、锌等,产自镜面抛光垫磨损情况及晶圆外壁铝合金层,铜化合物浓硫酸浓度约50mg/L。
有机酸含有剂
:以及面上可溶性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性类物质
:pH值冲击大,大多数在2-11当中。
治理 制作工艺步骤流程
造成废污水特征参数,应用“预解决+生物化+强度解决”搭配工艺技术:
调池
:动态平衡水质检测出水量,加入碱酸可以调节pH至普通。
混凝土凝固
:添加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),我们要除悬浮按钮物和电解质溶液,沉降后SS我们要除率>90%。
崔化空气氧化
:选取Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机会加入剂,COD快速清理率达60%。
菌物治理
:MBR膜生态学症状器进步降解塑料余量酚类化合物物,COD降到100mg/L接下来。
阴阳离子更换
:專用树脂材料吸附性铜正离子,有水出铜含量<0.5mg/L。
砂滤+抗逆性炭吸附
:保证 喷水纯净,达标《城市污水綜合排出要求》(GB8978-1996)一级通过成绩要求。
进而实际效果
软件系统正常运行维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,剩余时间达到标准排污,年限制废水处理排污1.5万吨。
处置代价约15元/吨,远如果低于制造行业平均水平。